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上海添時科學儀器有限公司

PRODUCT DISPLAY

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膜厚檢測儀

參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號:PM100-SE

品       牌:其他品牌

廠商性質:代理商

所  在  地:上海市

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更新時間:2025-03-13 08:18:04瀏覽次數:2594次

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應用領域 化工 快速測量 最大典型12寸晶圓(即直徑300mm)
膜厚測量范圍 15nm-75μm (對Si上的SiO2樣品) 膜層數目 1-4層
膜厚測量重復性 0.1nm(對Si上100nm的SiO2樣品) 準確度 2nm或0.4%(對Si上的SiO2樣品)
膜厚檢測儀
快速測量,僅需1-2s即可完成一次測量
大范圍膜厚測量,可測量膜厚范圍從15nm-70μm
常規操作只需點擊一個按鈕即可運行,操作簡便
適用于工業現場,穩定可靠
能夠滿足膜厚的常規測量,經濟實用

膜厚檢測儀

產品介紹

快速測量,僅需1-2s即可完成一次測量
大范圍膜厚測量,可測量膜厚范圍從15nm-70μm
常規操作只需點擊一個按鈕即可運行,操作簡便
適用于工業現場,穩定可靠
能夠滿足膜厚的常規測量,經濟實用

產品參數

快速測量:最大典型12寸晶圓(即直徑300mm)
膜厚測量范圍:15nm-75μm (對Si上的SiO2樣品)
膜層數目:1-4層
膜厚測量重復性:0.1nm(對Si上100nm的SiO2樣品)
準確度:2nm或0.4%(對Si上的SiO2樣品)

膜厚測試儀,分為手持式和臺式二種,手持式又有磁感應鍍層測厚儀,電渦流鍍層測厚儀,熒光X射線儀鍍層測厚儀。手持式的磁感應原理時,利用從測頭經過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,來測定覆層厚度。也可以測定與之對應的磁阻的大小,來表示其覆層厚度。
臺式的熒光X射線膜厚測試儀,是通過一次X射線穿透金屬元素樣品時·產生低能量的光子,俗稱為二次熒光,,在通過計算二次熒光的能量來計算厚度值。

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型號:PM100-SE 參考價: ¥面議
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